Elektronska nanolitografija

Oprema je bila sofinancirana iz sredstev EU (ESRR skladi) v operaciji Center odličnosti nanoznanost in nanotehnologije 2004 - 2006.
Electron Beam enables us to manufacture electrical circuits with the resolution below 100nm. The device that we constructed with the modification of the electron miscroscope is already used in rutine.

Podrobno o nanolitografiji na tej povezavi

Kratek izobraževalni film, ki v petih korakih prikazuje izdelavo vezij z uporabo elektronske nanolitografije. Ogled

Kontakt oseba:
Damjan Svetin
damjan.svetin@ijs.si